温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种溅镀装置，具有：背垫板、用以将靶材固定在所述背垫板的固定部、及包围所述靶材的周围的护罩。所述护罩具有开口部，所述固定部构成为通过将所述靶材的周边部按压在所述背垫板上，将所述靶材固定在所述背垫板上。所述护罩具有：没有介于其中的...
该专利属于佳能安内华股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过佳能安内华股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。