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本发明公开了一种用于氧化物材料体系的新型蚀刻液，该新型蚀刻液包括氧化物蚀刻溶液、起到稠度调节作用的调节剂以及水；同时本发明还公开了上述新型蚀刻液的蚀刻方法及应用。本发明公开的新型蚀刻液和蚀刻方法可普遍适用于Sn、Zn、Al、Ga、In基及其...
该专利属于佛山市中山大学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过佛山市中山大学研究院授权不得商用。

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