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感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、半导体装置及显示体装置制造方法及图纸
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文档序号:10317522
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本发明提供含有(A-1)具有下述通式(1)所示结构的树脂和(B)光产酸剂的感光性树脂组合物。式(1)中,X、R1~R7、m1~m4、n1、n2、Y和W分别如说明书中所规定。...
该专利属于旭化成电子材料株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过旭化成电子材料株式会社授权不得商用。
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