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一种铌酸锂晶体高效超光滑化学机械抛光方法，属于非线性光学晶体超精密加工技术领域。其特征是样品为铌酸锂晶片，采用固结磨料研磨、保持环硬抛光垫抛光、保持环软抛光垫化学机械抛光相结合的加工方法，硬抛光垫为合成革或聚氨酯抛光垫，软抛光垫为无纺布或绒...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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