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一种提高二氧化钒薄膜相变幅度的表面微结构制造技术
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下载一种提高二氧化钒薄膜相变幅度的表面微结构的技术资料
文档序号:10316720
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本发明公开了一种提高二氧化钒薄膜相变幅度的表面微结构,包括:以三氧化二铝为基底,在基底的一半面积上排列了一层二氧化硅纳米球,另一半不排球,接着在整片基底上沉积有一层二氧化钒薄膜。与传统的单一二氧化钒薄膜结构(相变幅度为1-2个数量级)相比,...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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