下载一种膜及其制备方法、显示面板及显示装置的技术资料

文档序号:10315750

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本发明公开了一种膜及其制备方法、显示面板及显示装置,包括:通过在基材上沉积多晶硅膜层,以及在多晶硅膜层之上形成碳化硅膜层,从而,形成用以保护显示面板的保护膜。由于所述保护膜的碳化硅膜层的抗划伤能力较强,防爆能力较好,而且厚度较薄,因此,可以...
该专利属于上海天马有机发光显示技术有限公司;天马微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海天马有机发光显示技术有限公司;天马微电子股份有限公司授权不得商用。

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