下载LaNiO3薄膜形成用组合物及使用该组合物的LaNiO3薄膜的形成方法的技术资料

文档序号:10315540

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本发明提供一种LaNiO3薄膜形成用组合物、及使用该组合物的LaNiO3薄膜形成方法,其课题在于形成一种极少产生空隙的均匀的LaNiO3薄膜。本发明的LaNiO3薄膜形成用组合物包含:LaNiO3前驱体;第1有机溶剂,选自羧酸、醇、酯、酮类...
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