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本文公开了微测辐射热计及焦平面阵列。微测辐射热计包括底部多层电介质（510），其具有第一氮氧化硅层（514）和位于第一氮氧化硅层（514）之上的第二氮氧化硅层（516），第一（514）和第二（516）氮氧化硅层具有不同的折射率。该微测辐射热...
该专利属于菲力尔系统公司所有，仅供学习研究参考，未经过菲力尔系统公司授权不得商用。

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