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石墨舟片卡点更换工装桌制造技术
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文档序号:10314466
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本实用新型公开了一种石墨舟片卡点更换工装桌,涉及多晶硅的制备工具技术领域。所述工装桌包括桌体和石墨舟片运输模板两部分,沿所述桌体的前后方向设有下沉的冲压机放置凹槽,所述冲压机放置凹槽的下底面设有卡点掉落孔,所述石墨舟片运输模板的上顶面间隔设...
该专利属于衡水英利新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过衡水英利新能源有限公司授权不得商用。
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