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本实用新型提供了一种晶圆限制模块和前开式晶圆盒，其中，所述晶圆限制模块包括：连接架和多个晶圆接触头；所述多个晶圆接触头的一侧均与所述连接架固定，所述多个晶圆接触头的另一侧具有内凹的弧形表面；所述多个晶圆接触头之间无空隙。在本实用新型提供的晶...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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