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一种石墨烯制备方法技术
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文档序号:10314328
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本发明公开了一种石墨烯的制备方法,属于信息材料技术领域,其目的在于提出一种新型的利用等离子体化学气相沉积制备石墨烯的方法。其技术方案为:对抛光的衬底基片进行清洗;在衬底基片上镀金属催化剂膜;将镀有金属催化剂膜的衬底基片放入化学气相沉积设备的...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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