温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及等离子体处理系统中的射频（RF）接地返回及其方法。本发明公开了用于以至少两种模式操作等离子体处理工具的等离子体处理腔的方法和装置。在第一模式，衬底支撑组件在间隙可调范围内可移动以调节电极之间的间隙，从而适应不同的处理需求。在第一模...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。