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一种无耗尽注入的耗尽型PMOS管结构制造技术
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文档序号:10313528
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本发明公开了一种无耗尽注入的耗尽型PMOS管结构,将CMOS工艺中多晶硅栅极现有技术通行的使用N型杂质重掺杂的做法改为使用P型杂质掺杂,并且对P型掺杂浓度进行适当调整,改变多晶硅栅极和硅之间的功函数差得到一种低夹断电压的耗尽型PMOS管。本...
该专利属于无锡市晶源微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡市晶源微电子有限公司授权不得商用。
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