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本发明涉及干涉显微镜。基于可编程照明的干涉显微镜系统，包括一照明光源、一照明模块；还包括一数字微镜装置，数字微镜装置包含有数字微镜阵列，每个数字微镜设有n°和-n°两个偏转角状态。光线通过TIR棱镜的折反射以2n°入射角度入射到数字微镜装置...
该专利属于上海理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海理工大学授权不得商用。

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