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本发明一种改进监视系统的有效面积法测量孔径光阑面积的装置,涉及高精度测量光阑面积领域,解决了监视测量结果不准确的技术问题;本发明包括hene激光器、可变光阑A、光束分离器、可变光阑B和可变光阑C、x-y平移台、监视系统和探测系统;所述探测系...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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本发明一种改进监视系统的有效面积法测量孔径光阑面积的装置,涉及高精度测量光阑面积领域,解决了监视测量结果不准确的技术问题;本发明包括hene激光器、可变光阑A、光束分离器、可变光阑B和可变光阑C、x-y平移台、监视系统和探测系统;所述探测系...