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本发明是有关于一种基板加工装置,其具备有可缩短在基板反转后至载置于下一步骤的平台的作业时间的吸附反转装置。该基板加工装置(A),具备有在基板(W)的表面形成刻划线的刻划装置(B)、以及具有吸附经刻划的基板(W)并使其反转且往下一步骤的承接部...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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