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一种固态薄膜电容器及其制备方法技术
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文档序号:10308263
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本发明涉及一种固态薄膜电容器及其制备方法,该电容器包括下部电极(1)、活性氧化铝薄膜(2)、上部电极(3)、阳极氧化膜(4)及衬底基片(5),下部电极(1)涂覆在衬底基片(5)表面上,活性氧化铝薄膜(2)设置在上部电极(3)和下部电极(1)...
该专利属于同济大学所有,仅供学习研究参考,未经过同济大学授权不得商用。
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