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本发明涉及精密测量技术领域。超分辨三维测量显微镜，包括一干涉显微镜本体，干涉显微镜本体包括一生成准直均匀光线的照明模块，照明模块的出射光朝向一生成不同相位值的正弦结构光的结构光生成器，结构光生成器的出射光朝向一分光棱镜，分光棱镜的反射光朝向...
该专利属于上海理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海理工大学授权不得商用。

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