下载水平砷化镓单晶生长用籽晶腔及包括该籽晶腔的石英舟的技术资料

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一种水平砷化镓单晶生长用籽晶腔及包括该籽晶腔的石英舟,该籽晶腔具有头部和尾部,且该头部至该尾部逐渐加宽,而使该籽晶腔腔体的水平截面呈梯形。该石英舟还包括放肩部分、等径部分、舟尾部分。在水平砷化镓单晶的生长过程中,使用本实用新型,可以延长放肩...
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