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一种多自由度微传感器模块及其封装,包括:多自由度MEMS加速度计、多自由度MEMS陀螺仪、多自由度MEMS磁传感器、MEMS压力传感器、GPS/北斗导航芯片、ASIC集成电路,其特征在于所述的多自由度MEMS加速度计、多自由度MEMS陀螺仪...
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