【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种多自由度微传感器模块及其封装，包括：多自由度MEMS加速度计、多自由度MEMS陀螺仪、多自由度MEMS磁传感器、MEMS压力传感器、GPS/北斗导航芯片、ASIC集成电路，其特征在于所述的多自由度MEMS加速度计、多自由度MEMS陀螺仪、多自由度MEMS磁传感器、MEMS压力传感器、GPS/北斗导航芯片、ASIC集成电路通过基于基板的封装技术进行封装集成或通过系统级封装技术进行封装集成为一体化模块。本专利技术还提供了该模块的多种封装方式。本专利技术的优点是不仅能为设备提供多自由度的物理量检测，更能极大地降低多种传感器的设计和封装成本，提高传感器的可靠性，使多功能传感器的应用领域更广泛。【专利说明】一种多自由度微传感器模块及其封装
本专利技术涉及一种测量模块，特别涉及一种多自由度微传感器模块。
技术介绍
多自由度MEMS (微电子机械系统)加速度计可以测量物体在三个方向上的加速度量，多自由度MEMS陀螺仪可以测量物体多个方向上的角速度量、多自由度MEMS磁传感器可以测量物体多个方向的磁通量、MEMS压力传感器可以测量某点的压力量、GPS/北斗...
【技术保护点】
一种多自由度微传感器模块，包括：多自由度MEMS加速度计、多自由度MEMS陀螺仪、多自由度MEMS磁传感器、MEMS压力传感器、GPS/北斗导航芯片、ASIC集成电路，其特征在于将多自由度MEMS加速度计、多自由度MEMS陀螺仪、多自由度MEMS磁传感器、MEMS压力传感器、GPS/北斗导航芯片、ASIC集成电路通过基于基板的封装技术进行封装集成或通过系统级封装技术进行封装集成为一体化模块。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘胜，罗璋，曹钢，徐春林，胡畅，王小平，
申请(专利权)人：刘胜，
类型：发明
国别省市：湖北;42
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