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本发明公开了一种用于溅射腔室的靶材组件，所述靶材组件包括按第一方向排列的n个第一靶材，以及按与第一方向互相垂直的第二方向排列的两个第二靶材，其中，至少部分第一靶材位于所述两个第二靶材之间；并且，每一第一靶材以及每一第二靶材由功率源分别控制；...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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