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基于高频光电导衰减法的少子寿命测试仪，适用于高校等科研单位和相关中小型公司测试硅片少子寿命的仪器，本发明为解决国外少子寿命测试仪对于国内的小型实验室和半导体厂商而言，过于昂贵的问题。本发明包括高频信号发生电路、样品台、光源同步控制电路、峰值...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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