下载具有大电感可调谐性的静电可调谐磁电电感器的技术资料

文档序号:10291206

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一种静电可调谐磁电电感器,包括:衬底;压电层;以及磁电结构,其包括第一导电层、磁性薄膜层、第二导电层和凹槽,它们形成为创建围绕所述磁性薄膜层的至少一个导电线圈;其中衬底的一部分被去除以便增强压电层的形变。还公开了一种制造静电可调谐磁电电感器...
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