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掩模制造装置及利用激光束制造掩模的方法制造方法及图纸
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文档序号:10290747
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本发明公开一种掩模制造装置及利用激光束制造掩模的方法。一种掩模制造装置,其包括激光照射器、平台、框架和散热片。激光照射器将激光束分为多道子激光束并将子激光束照射到被放置在平台上的阴影掩模。框架设置在平台上来支撑阴影掩模。散热片接触阴影掩模材...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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