下载集成式光刻板制作方法及LED芯片晶粒的分选方法的技术资料

文档序号:10286742

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本发明提供了一种集成式光刻板制作方法及制得L E D芯片的分选方法。其中集成式光刻板制作方法,包括以下步骤:1)在集成式光刻板上彼此垂直设置的两条分割线,将光刻板划分成四个象限,并将两条分割线分别作为横坐标线和纵坐标,形成坐标系;2)在任一...
该专利属于湘能华磊光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湘能华磊光电股份有限公司授权不得商用。

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