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真空吸附平台及真空吸附系统技术方案
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文档序号:10284635
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一种真空吸附平台,包括:下本体,为具有一开口端的中空结构,且下本体上设有用于与抽真空装置连通的出气接口;上本体,设于下本体的开口端处,并与下本体围合形成吸附腔,上本体远离下本体的表面为吸附面,吸附面上设有多个气孔;控制组件,包括电子阀、控制...
该专利属于江西沃格光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西沃格光电股份有限公司授权不得商用。
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