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一种光刻机投影物镜波像差检测标记和检测方法。采用方向不同，尺寸相同的一维图形作检测标记。采集检测标记的空间像，对空间像光强拟合得到投影物镜波像差。本发明高精度地校正了空间像位置偏移，降低了空间像位置误差，增加了可检测的泽尼克像差数目，提高了...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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