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本实用新型提供一种晶圆盒，包括顶板、底板和侧板，还包括轴和托盘，所述顶板、底板和侧板连接形成容纳腔，该容纳腔为一侧开口的半封闭容纳腔；所述轴竖直连接于顶板和底板间，并且该轴位于开口的一侧；所述托盘为圆形且水平设置于容纳腔内，其边缘处设有卡环...
该专利属于天津宇晗电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津宇晗电子科技有限公司授权不得商用。

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