下载片上电容器及其组装方法的技术资料

文档序号:10267379

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一种片上电容器,在后端金属化体之上的无源层中制造有半导电衬底。在片上电容器中配置有至少三个电极,电源通孔和接地通孔与至少三个电极中的至少两个耦合。第一通孔具有到第一电极、第二电极和第三电极中的至少一个的第一耦合配置,第二通孔具有到第一电极、...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。

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