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晶棒转运装置制造方法及图纸
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下载晶棒转运装置的技术资料
文档序号:10260192
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本实用新型提供一种晶棒转运装置。该晶棒转运装置包括:安装架;底部滚动体,底部滚动体可转动地设置在安装架上,底部滚动体通过摩擦力驱动放置在底部滚动体上的晶棒运动;侧向导向部,侧向导向部包括位于底部滚动体的轴向方向上的两侧的侧向导向单元,以避免...
该专利属于英利能源(中国)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英利能源(中国)有限公司授权不得商用。
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