温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供与CMOS装置集成的体声波滤波器和/或体声谐振器、制造方法和设计结构。该方法包括从绝缘体(12)上的硅层(14)形成单晶梁(18)。该方法还包括在单晶梁之上提供绝缘体材料的涂层(22)。该方法还包括形成通过绝缘体材料的通孔(34a)，以...
该专利属于国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过国际商业机器公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。