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根据本发明的一实施方案，用于实现对基板的工艺的基板处理装置包括：下部腔室，其上部打开，并在一侧形成有用于使所述基板进出的通道；外部反应管，其用于关闭所述下部腔室中打开的上部，并提供实现所述工艺的工艺空间；基板支架，其以上下方向载置一个以上的...
该专利属于株式会社EUGENE科技所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社EUGENE科技授权不得商用。

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