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本发明公开了一种MEMS继电器，包括：至少一个悬臂梁开关对，其包括两个呈轴对称分布且自由端位置邻近的悬臂梁开关，每个悬臂梁开关包括：悬臂结构；与悬臂结构的固定端相连的驱动上电极；位于悬臂结构下方的驱动下电极；位于悬臂结构的自由端的且与其绝缘...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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