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本发明提出了一种提高外延片亮度的三角锥图形衬底的制备方法，包括以下步骤：1)在清洗后的抛光衬底表面旋涂一层光刻胶；2)对涂有光刻胶的衬底进行曝光；显影后得到圆柱型光刻胶掩膜；并对生成的光刻胶掩膜进行烘烤；3)ICP刻蚀步骤2)显影后的样片；...
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