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一种氧化铟锡靶材烧结制备方法。靶材素坯置入烧结炉内，保持烧结炉内常压空气气氛，以15-100摄氏度每小时提高烧结炉内温度直到温度达到第一高温，恒温4至10小时；将烧结炉内的气氛转换为常压纯氧气氛，以20-100摄氏度每小时提高烧结炉内温度直...
该专利属于广西华锡集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广西华锡集团股份有限公司授权不得商用。

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