下载SnS/ZnS叠层薄膜太阳能电池制备方法的技术资料

文档序号:10217200

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本发明公开了一种SnS/ZnS叠层薄膜太阳能电池制备方法,属于太阳能电池技术领域。该方法包括如下步骤:a、将FTO导电玻璃清洗干净,安装于磁控溅射机基片座上;b、开启真空抽气系统抽真空;c、通入氩气,执行预溅射程序;d、再次执行抽本底真空;...
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