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本发明涉及一种电路宽度变细缺陷防止装置及方法，并且通过包括以下装置能够防止由于在特定部分上的过度蚀刻引起的电路宽度变细缺陷（即，电路宽度的减少）：存储装置，用于存储根据弱部分的类型分类的坝设计信息；分析装置，用于分析第一设计信息以推断弱部分...
该专利属于三星电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电机株式会社授权不得商用。

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