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基于标准SiGe BiCMOS工艺的光电集成接收机制造技术
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下载基于标准SiGe BiCMOS工艺的光电集成接收机的技术资料
文档序号:10188568
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本实用新型属于光纤通信系统及光互连领域,为实现单片集成所具有的体积小、成本低、可靠性好、功能丰富等优点。本实用新型提出一种与标准SiGe BiCMOS工艺兼容的光电探测器,以及集成该探测器的高速、高灵敏度单片集成光接收机。为了达到上述技术要...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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