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下载真空滑阀的技术资料

文档序号:10177995

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本发明涉及一种真空滑阀,其具有设于真空区外的驱动单元,该驱动单元如此构成,使得关断板通过至少一个阀杆沿纵轴线的移动而能从打开位置移动至中间位置,并且通过所述阀杆沿垂直于纵轴线延伸的横轴线的移动从中间位置移动至关闭位置。阀杆与滑动部件刚性固定...
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