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本发明提供了一种平面透射电镜样品的制备方法，包括：制备SELA加工所需的第一样品，所述第一样品上设有目标区域；使用SELA对所述第一样品进行裂片，形成包括所述目标区域的第二样品；将所述第二样品切割和减薄形成TEM样品。本发明的技术方案成本较...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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