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本实用新型公开了一种靶材组件，靶材组件包括背板和靶材，背板的焊合表面设有低熔点的背板焊料层，靶材的焊合表面从内到外依次设有等离子喷涂界面层和低熔点的靶材焊料层；背板焊料层与靶材焊料层软焊接。本实用新型的靶材组件具有较佳的接合附着能力。...
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