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本发明涉及一种螺旋形研磨盘，适用于光学元件、非晶薄膜衬底等工件表面的研磨与抛光加工。它包括研磨盘、转动装置和工件进给机构，研磨盘的底部连接转动装置，研磨盘表面上装有螺旋形挡板,研磨盘的表面粒度随着螺旋形挡板梯度式变化；工件在工件进给机构的带...
该专利属于浙江工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江工业大学授权不得商用。

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