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一种脉冲激光沉积制备Sb2Te3薄膜的方法技术
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文档序号:10162199
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本发明涉及一种脉冲激光沉积制备Sb2Te3薄膜的方法,制得的Sb2Te3薄膜结构简单,操作方便,无需后退火过程,可以直接在高温下进行溅射生长,减少对薄膜的损伤,同时薄膜厚度可以通过控制沉积时间得到调整,薄膜表面形貌可以通过调节溅射气压和衬底...
该专利属于华东师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过华东师范大学授权不得商用。
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