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本实用新型涉及多弧离子镀膜机，具体是一种多弧离子镀膜机的间接水冷靶座电弧蒸发源。包括引弧机构、靶块、不锈钢靶座、电弧屏蔽盘、电弧调节套、绝缘套、水管、电磁装置，所述靶块与所述不锈钢靶座之间设置有紫铜板，所述紫铜板正面与所述靶块紧密接触，紫铜...
该专利属于遵化市超越钛金设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过遵化市超越钛金设备有限公司授权不得商用。

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