下载一种可以提高直拉法单晶生长速度的冷却装置的技术资料

文档序号:10154973

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本实用新型公开了一种可以提高单晶生长速度的冷却装置。该装置为有锥度的筒状组合部件,由三层组成,最外层为低发射率的钼筒,中间层为内部通冷却介质的绕制铜管,铜管穿出炉外后,连接炉台冷却介质管路,最内层为铜筒。铜筒和绕制铜管之间充分焊接接触。铜筒...
该专利属于上海涌真机械有限公司;苏州协鑫工业应用研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海涌真机械有限公司;苏州协鑫工业应用研究院有限公司授权不得商用。

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