温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种ITO镀膜工艺中的氩气传输装置，包括进气管、散气管和出气管，散气管设置在出气管内部，进气管穿过出气管后插入散气管内设置，其特征在于：所述进气管外表面中下部开有进气孔，进气管下端口封闭，散气管外表面开有散气孔，散气管上端口和下端口均被密封...
该专利属于三门峡康耀电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三门峡康耀电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。