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本发明涉及一种具有多级结构的研磨抛光盘，适用于光学元件、非晶薄膜衬底等工件表面的研抛加工，它包括研磨抛光盘、滑台、工件安装轴和工件安装头，滑台装在研磨抛光盘的上方并可以沿着水平方向移动，工件安装轴装在滑台上；研磨抛光盘上设有多层环形的挡板，...
该专利属于浙江工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江工业大学授权不得商用。

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