温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种真空吸笔，所述真空吸笔至少包括：依次连接的真空装置、中空笔杆及吸盘，所述吸盘包括多个独立的真空吸附单元，各真空吸附单元连接有独立管道，各独立管道藉由所述中空笔杆与所述真空装置连接。本实用新型的真空吸笔采用多路独立真空分流系...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。