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蓝宝石抛光液的制备方法技术
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文档序号:10151753
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本发明公开了一种蓝宝石抛光液的制备方法,其特征在于所述方法包括以下步骤:(1)以平均粒径在100~300nm范围内的α-Al2O3纳米晶体作为晶种均匀分散在铝盐水溶液中作为前驱体溶液;(2)将前驱体液体通过喷雾干燥工艺制成含有α-Al2O3...
该专利属于苏州纳迪微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州纳迪微电子有限公司授权不得商用。
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